SK Hynix assembleert eerste High-NA EUV-lithografiegereedschap voor massaproductie in M16-fabriek

SK Hynix heeft aangekondigd dat het bedrijf het eerste high-NA EUV-lithografiesysteem voor massaproductie heeft geassembleerd in zijn M16-fabriek in Icheon, Zuid-Korea. Leidinggevenden van SK Hynix's R&D en Productie, evenals ASML's SK Hynix klantleider, vierden de mijlpaal tijdens een evenement op locatie. Het doel van dit systeem is om de ontwikkeling en levering van DRAM van de volgende generatie te versnellen, terwijl ook het binnenlandse leiderschap op het gebied van AI-geheugen wordt versterkt en de stabiliteit van de toeleveringsketen wordt verbeterd door nauwe samenwerking met partners. Met deze mijlpaal neemt SK Hynix een voorsprong op andere rivalen die nog steeds vertrouwen op Low-NA EUV.

Het ASML TWINSCAN EXE:5200B systeem levert ongeveer 40 procent hogere NA (numerieke apertuur) dan zijn Low-NA tegenhanger, waardoor functies 1,7 keer kleiner kunnen worden gemaakt met ongeveer 2,9 keer hogere transistordichtheid in één enkele belichting. De machine kan een aanzienlijke resolutie van 8 nm bereiken, wat een aanzienlijke verbetering is ten opzichte van de huidige resolutie van 13 nm die door Low-NA systemen wordt bereikt. ASML ziet de mijlpaal als "het openen van een nieuw hoofdstuk".

In eerste instantie is SK Hynix van plan om snel prototypes te maken van nieuwe DRAM-structuren, waaronder condensatorleuven, bitlijnen en woordlijnen, om de ontwikkeling van de node te versnellen. Het bedrijf is ook van plan om bestaande EUV-processtromen te vereenvoudigen om de kostenconcurrentiepositie te verbeteren naarmate de ontwikkeling vordert.

Verwacht wordt dat DRAM's in de toekomst (rond 2030) zullen overstappen op High-NA EUV; daarom wordt dat pad vroegtijdig geëlimineerd met deze tool. SK Hynix heeft zijn EUV-voetafdruk in DRAM sinds 2021 uitgebreid, en deze mijlpaal markeert de volgende stap voor zijn next-gen DRAM-productie.

Als een van de eerste bedrijven die High-NA EUV-systemen op een massaproductielocatie assembleert, heeft SK Hynix een voorsprong op Micron en Samsung, waardoor het bedrijf een concurrentievoordeel op de markt heeft. ASML had eerder al pre-productie High-NA systemen (de NXE:5000-serie) gebouwd in Intel's D1X-fabriek, maar de installatie van SK Hynix markeert de eerste assemblage van het nieuwe EXE:5200B systeem in een fabriek van een klant die geschikt is voor massaproductie.